單級旋片式真空泵是一種油封式旋轉機械真空泵，可以單獨使用，也可以作高真空的前級泵，即可以和增壓泵、油擴散泵組成機組。

1、單級旋片式真空泵結構

作為單級旋片式真空泵只有一個工作室，它主要由定子、轉子、旋片組成。如下圖所示。轉子偏心地置于定子內。轉子梢中裝有兩塊旋片，兩旋片之間裝有彈簧。依靠彈簧的彈力和泵旋轉時的離心力使旋片緊貼于泵壁。

一般將泵腔分成三部分：從進氣竹到旋片分隔的空間稱吸氣(空間，由兩旋片同泵壁分附出的空間稱為膨脹壓縮空間;排氣閥到旋片分隔的空間稱排氣空間。如旋片處于垂充位置時，則把泵腔分成二部分(即吸氣空間和排氣空間)。但不管旋片處于什么位置，它始終把進氣門和排氣口分開。排氣閥浸在油里的目的是防止大氣返流進入泵內。為了防止電源突然停電真空泵油返流入真空容器內，在進氣口管道上安裝一個電磁閥，一旦停電，電磁閥隨把通道堵死，開泵抽氣時，電磁閥吸上，通道打開。

2、單級旋片式真空泵工作原理

當轉子在定子內旋轉時，吸氣空間的容積逐漸增大而把被抽空問中氣沐吸入吸氣空間。同時排氣空間的容積逐漸縮小，將前一周期已吸入的氣體壓縮，當氣體壓力足夠高，即大于油的重力和閥片彈力之和時，被抽氣體頂開排氣閥，穿過油層由排氣管排出。

單級旋片式真空泵的抽氣過程

旋片式真空泵在工作過程中的幾個典型位置：

(1)旋片1處于垂直位置，并與轉子和定子問的固定切點4重合，吸氣過程尚未開始。

(2)旋片1從A點轉過一定角度，吸氣空間逐漸增大氣體便從被抽空問通過進氣口進入吸氣空間。

(3)旋片1到達水平位置，旋片2正好將進氣口封死，氣體不再進入吸氣空間，吸氣量達到最大。

(4)旋片繼續旋轉，被封閉在旋片1、2之間的氣體受到壓縮，壓強不斷升高，當壓強超過一定值時，氣體便推開排氣閥由排氣管排出。

(5)排氣結束，恢復到第一個過程里，只是I、2兩個旋片交換了一個位置。

以后的排氣就按照上面的過程重復進行。這樣每個旋片起了二個作用：使泵腔從進氣口吸入氣體，壓縮已吸進來的氣體，使其通討排氣閥排出去。當轉子旋轉一周時，旋片1,2各吸入一次氣體和排出一次氣體，因此轉子旋轉一周時，完成了兩次吸氣過程和兩次排氣過程。

單級泵的真空度相比雙級旋片式真空泵要差一些，它的殘余氣體分壓強為5×10-1~1Pa，而總壓強(殘余氣體與殘余蒸汽分壓強之和)有5Pa。